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1理学------------论文:15篇
2工学------------论文:14篇
3物理学------------论文:12篇
4机械工程------------论文:1篇
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1INT SYMP INERT SENSO------------论文:20篇
2MICROMACHINES-BASEL------------论文:19篇
3PROC IEEE MICR ELECT------------论文:18篇
4IEEE SENS J------------论文:17篇
5IEEE SENSOR------------论文:16篇
6MICROSYST TECHNOL------------论文:12篇
7J MICROELECTROMECH S------------论文:11篇
8SENSOR ACTUAT A-PHYS------------论文:8篇
9INT CONF NANO MICRO------------论文:7篇
10J MICROMECH MICROENG------------论文:6篇
11MICROSYST NANOENG------------论文:5篇
12SENSORS-BASEL------------论文:5篇
13AIP ADV------------论文:4篇
14KEY ENG MATER------------论文:4篇
15IEEE ELECTR DEVICE L------------论文:4篇
16VACUUM------------论文:3篇
17PHYS REV APPL------------论文:3篇
18ADV MATER RES-SWITZ------------论文:3篇
19NAT COMMUN------------论文:3篇
20APPL PHYS LETT------------论文:3篇
21J MICRO-NANOLITH MEM------------论文:3篇
22IEEE T IND ELECTRON------------论文:3篇
23INT J MECH SCI------------论文:2篇
24ADV INTEL SYS RES------------论文:2篇
25SURF COAT TECH------------论文:1篇
26OPT LETT------------论文:1篇
27OPT EXPRESS------------论文:1篇
28NONLINEAR DYNAM------------论文:1篇
29J SEMICOND------------论文:1篇
30MATERIALS------------论文:1篇
31MICROELECTRON ENG------------论文:1篇
32CHIN OPT LETT------------论文:1篇
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34SCI CHINA TECHNOL SC------------论文:1篇
35J MATER SCI-MATER EL------------论文:1篇
36APPL MECH MATER------------论文:1篇
37IEEE-ASME T MECH------------论文:1篇
38MEAS SCI TECHNOL------------论文:1篇
39PHOTONICS-BASEL------------论文:1篇
40CHIN J MECH ENG-EN------------论文:1篇
41PHYS REV RES------------论文:1篇
42J PHYS CONF SER------------论文:1篇
43IEEE T ELECTRON DEV------------论文:1篇
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1Nature Communications------------论文:3篇
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