应用于激光微显示中高速扫描的压电MEMS微镜-Reference-Cited by-同舟云学术

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应用于激光微显示中高速扫描的压电MEMS微镜

Published:2023 Issue:12 Volume:52 Page:1223001
ISSN:1004-4213
Container-title:ACTA PHOTONICA SINICA
language:en
Short-container-title:光子学报

Author:

LI Haoxiang 李浩祥,SHEN Wenjiang 沈文江,YU Huijun 余晖俊

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Reference23 articles.

1. AR/VR light engines: perspectives and challenges;E L HSIANG;Advances in Optics and Photonics,2022

2. Piezoelectric MEMS mirrors for the next generation of small form factor AR glasses;N BONI,2022

3. MEMS mirrors for LiDAR: a review;Dingkang WANG;Micromachines,2020

4. 应用于激光雷达的二维静电微镜设计;单亚蒙;传感器与微系统,2021

5. Study on 2D electrostatic-driven micro scanning mirror applied to LiDAR;Lijiang REN;Transducer and Microsystem Technologies,2021

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