Author:
Banshchikov A. G.,Vexler M. I.,Ivanov I. A.,Illarionov Yu. Yu.,Sokolov N. S.,Suturin S. M.
Reference18 articles.
1. R. F. C. Farrow, P. W. Sullivan, G. M. Williams, G. R. Jones, D. C. Cameron. J. Vac. Sci. Technol., 19, 415 (1981).
2. M. Sugiyama, M. Oshima. Microelectronics J., 27, 361 (1996).
3. A. A. Velichko, V. A. Ilyushin, A. U. Krupin, V. A. Gavrilenko, N. I. Filimonova, C. C. Kudaev. Proc. 12th Int. Conf. on Actual Problems of Electronics Instrum. Engineering (APEIE) (2014) p. 17.
4. M. Galbiati, M. Scarselli, F. Arciprete, M. De Crescenzi, L. Camilli. J. Phys. D: Appl. Phys., 55, 095304 (2022).
5. J. Robertson. Rep. Progr. Phys., 69, 327 (2006).