The effect of the first collisions of atoms on the formation of a uniform layer during molecular beam epitaxy

Author:

Желтов С.А.,Плетнев Л.В.,Чупятов Н.Н.

Abstract

Молекулярно-лучевая эпитаксия является одним из современных способов нанесения покрытий на поверхности. Преимуществом данного способа нанесения покрытий является относительная простота установок, возможность получения больших площадей напыленного вещества и экологическая чистота. Недостатком данного способа нанесения покрытий является относительно большая доля вещества, которая не попадает на напыляемую поверхность. Это связано как со столкновениями атомов испарившегося вещества с молекулами воздуха, оставшимися после откачки и столкновениями атомов испарившегося вещества друг с другом в вакууме. Предложены схемы установок для нанесения вещества на прямоугольные пластины и на пластины в форме круга в которых получается однородный слой напыленного вещества и полное использование испаренного вещества, Проведены компьютерные эксперименты методом Монте-Карло по определению вероятностей вылетов атомов из испарительных элементов без столкновения с напыляемыми пластинами. Molecular beam epitaxy is one of the modern methods of coating the surface. The advantage of this coating method is the relative simplicity of installations, the possibility of obtaining large areas of the sprayed substance and environmental cleanliness. The disadvantage of this method of coating is a relatively large proportion of the substance that does not fall on the sprayed surface. This is due both to collisions of atoms of vaporized matter with air molecules remaining after pumping and collisions of atoms of vaporized matter with each other in vacuum. Schemes of installations for applying the substance to rectangular plates and to plates in the form of a circle in which a homogeneous layer of the sprayed substance and the full use of the vaporized substance are obtained are proposed. Data on the first and second collisions of atoms after departure from the surface of the condensed phase were used. Computer experiments were carried out using the Monte Carlo method to determine the probabilities of atom departures from evaporative elements without collision with the sprayed plates.

Publisher

Ultrasound Technology Center of Altai State Technical University

同舟云学术

1.学者识别学者识别

2.学术分析学术分析

3.人才评估人才评估

"同舟云学术"是以全球学者为主线,采集、加工和组织学术论文而形成的新型学术文献查询和分析系统,可以对全球学者进行文献检索和人才价值评估。用户可以通过关注某些学科领域的顶尖人物而持续追踪该领域的学科进展和研究前沿。经过近期的数据扩容,当前同舟云学术共收录了国内外主流学术期刊6万余种,收集的期刊论文及会议论文总量共计约1.5亿篇,并以每天添加12000余篇中外论文的速度递增。我们也可以为用户提供个性化、定制化的学者数据。欢迎来电咨询!咨询电话:010-8811{复制后删除}0370

www.globalauthorid.com

TOP

Copyright © 2019-2024 北京同舟云网络信息技术有限公司
京公网安备11010802033243号  京ICP备18003416号-3