Смачиваемость слоев черного кремния, сформированных различными методами

Author:

Айвазян Г. Е.1,Варданян А. А.1,Семченко А. В.2

Affiliation:

1. Национальный политехнический университет Армении, Ереван, Армения

2. Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины, Гомель, Беларусь

Abstract

Исследована смачиваемость слоев черного кремния (b-Si), сформированных методами реактивного ионного травления, металл-стимулированного химического травления и лазерно-индуцированного травления. Определены краевые углы смачивания изготовленных образцов деионизованной водой, глицерином, дийодметаном и этиленгликолом. Показано, что поверхностная пленка окисла кремния и коэффициент увеличения площади слоев b-Si оказывают существенное влияние на их смачиваемость, варьируя от гидрофильных к гидрофобным свойствам. Հետազոտվել է ռեակտիվ իոնային խածատման, մետաղով խթանմամբ քիմիական խածատման և լազերային խածատման մեթոդներով ձևավորված սև սիլիցիումի (b-Si) շերտերի թրջելիությունը: Գնահատվել են պատրաստված նմուշների դեիոնացված ջրով, գլիցերինով, դիյոդմեթանով և էթիլենգլիկոլով թրջման հպակային անկյունները: Ցույց է տրվել, որ սիլիցիումի օքսիդի մակերևութային թաղանթը և b-Si շերտերի մակերեսի մեծացման գործակիցը զգալի ազդեցություն ունեն թրջելիության վրա՝ ապահովելով հիդրոֆիլայինից մինչև հիդրոֆոբային հատկություններ: The wettability of black silicon (b-Si) layers formed by reactive ion etching, metal-assisted chemical etching, and laser-induced etching has been studied. The wetting contact angles of the prepared samples with deionized water, glycerol, diiodomethane and ethylene glycol were determined. It has been shown that the silicon oxide surface film and the enlargement area factor of b-Si layers have a significant effect on their wettability, varying from hydrophilic to hydrophobic properties.

Publisher

National Academy of Sciences of the Republic of Armenia

同舟云学术

1.学者识别学者识别

2.学术分析学术分析

3.人才评估人才评估

"同舟云学术"是以全球学者为主线,采集、加工和组织学术论文而形成的新型学术文献查询和分析系统,可以对全球学者进行文献检索和人才价值评估。用户可以通过关注某些学科领域的顶尖人物而持续追踪该领域的学科进展和研究前沿。经过近期的数据扩容,当前同舟云学术共收录了国内外主流学术期刊6万余种,收集的期刊论文及会议论文总量共计约1.5亿篇,并以每天添加12000余篇中外论文的速度递增。我们也可以为用户提供个性化、定制化的学者数据。欢迎来电咨询!咨询电话:010-8811{复制后删除}0370

www.globalauthorid.com

TOP

Copyright © 2019-2024 北京同舟云网络信息技术有限公司
京公网安备11010802033243号  京ICP备18003416号-3