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Microelectronic Materials with Hierarchical Organization

  • Published:2011-09-23 Issue: Volume: Page:2331-2367
  • ISSN:
  • Container-title:Macromolecular Engineering
  • language:
  • Short-container-title:

Author:

Dubois G.,Miller R. D.,Hedrick James L.

Publisher

Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA

Reference220 articles.

1. V. H. Nguyen H. van Kranenburg P. H. Woerlee Copper for Advanced Interconnect 1999
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