Author:
Astié S.,Gué A.M.,Scheid E.,Guillemet J.P.
Subject
Materials Chemistry,Electrical and Electronic Engineering,Metals and Alloys,Surfaces, Coatings and Films,Condensed Matter Physics,Instrumentation,Electronic, Optical and Magnetic Materials
Reference10 articles.
1. Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench-etching techniques;Werno;Sens. Actuators A,1994
2. V. Demarne , Réalisation d'un capteur de gaz intégré sur silicium étude des mécanismes physico-chimiques lies au fonctionnement de ces capteurs dans le cas de couches minces de dioxyde d'étain pur et dopé, Thèse No.934 Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (1991).
3. Optimization of an integrated SnO2 gas sensor using a FEM simulator;Astié;Sens. Actuators A,1998
4. D.H. Yun and al., Low power consumption type thin film gas sensor, Goldstar Co.Ltd. Seoul Rep. Of Korea United States Patent No. 5545300 (1996).
5. Low-power micro gas sensor;Lee;Sens. Actuators B,1996
Cited by
38 articles.
订阅此论文施引文献
订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献