1. 1) International Technology Roadmap for Semiconductors 2002 Update, http://public.itrs.net/.
2. 2) R. Chau: 2001 Silicon Nanoelectronics Workshop, Kyoto, June 2001.
3. 3) 滝山真功, 大塚 進, 林 俊一, 日月應治: ウルトラクリーンテクノロジー (Ultra Clean Technology), 5, 345 (1993).
4. 4) L. Fabry, S. Pahlke, L. Kotz, G. Tölg: Fresenius' J. Anal. Chem., 349, 260 (1994).
5. 5) R. Klockenkämper: "Total-Reflection X-Ray Fluorescence Analysis", (1997), (John Wiley & Sons, New York).