Effect of Heater Structure on Oxygen Concentration in Large Diameter N-Type Czochralski Silicon Study Using Numerical Simulation
Author:
Publisher
Elsevier BV
Reference31 articles.
1. The historical development of the Czochralski method;R Uecker;Journal of Crystal Growth,2014
2. Czochralski growth of silicon;W Zulehner;Journal of Crystal Growth,1983
3. Ninetieth anniversary of Czochralski method;E Talik;Journal of Alloys and Compounds,2007
4. Effects of argon flow on impurities transport in a directional solidification furnace for silicon solar cells;Z Li;Journal of Crystal Growth,2011
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