TiN, TiO, TiOxNy İnce Filmlerin Optik, Yüzey ve Yapısal Özellikleri Üzerine Tavlama Sıcaklığının Etkileri-Reference-Cited by-同舟云学术

TiN, TiO, TiOxNy İnce Filmlerin Optik, Yüzey ve Yapısal Özellikleri Üzerine Tavlama Sıcaklığının Etkileri

Published:2024-08-23 Issue: Volume: Page:1-1
ISSN:1302-0900
Container-title:Journal of Polytechnic
language:tr
Short-container-title:

Author:

Özkök Yeliz¹^ORCID,Öztürk Mustafa¹^ORCID,Çakmak Mehmet¹^ORCID

Affiliation:

1. GAZİ ÜNİVERSİTESİ

Abstract

Titanyum nitrür (TiN), titanyum oksit (TiO) ve titanyum oksinitrür (TiOxNy) ince filmleri eş-odaklı geometriye sahip püskürtme tekniği kullanılarak soda lime glass (SLG), katkısız silisyum (i-Si) ve 316L paslanmaz çelik (316LSS) alttaşlar üzerine büyütülmüştür. Elde edilen filmlerin fiziksel özelliklerinin iyileştirilmesi amacıyla, difüzyon fırınında farklı sıcaklıklarda ısıl işleme tabi tutulmuş ve filmlerin optik, yüzey ve yapısal özellikleri üzerine tavlama sıcaklığının etkisi araştırılmıştır. TiN, TiO, TiOxNy ince filmlerinin optik özellikleri Zayıflatılmış Toplam Yansıma (ATR), Fourier dönüşümü kızılötesi spektroskopisi (FTIR) ile yapısal özellikleri X-ışını kırınım difraktometresi (XRD) ile yüzey özellikleri atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ile belirlenmiştir. Analizlerden elde edilen sonuçlara göre, tavlama sıcaklığı TiN, TiO, TiOxNy ince filmlerin fiziksel özelliklerinde iyileşme yaratmıştır.

Publisher

Politeknik Dergisi

Reference33 articles.

1. [1] Yavuz, H. İ., & Yamanoğlu, R. “β tipi Ti alaşımlarının özellikleri üzerine bir derleme: mikroyapı, mekanik, korozyon özellikleri ve üretim yöntemleri”, Politeknik Dergisi, 26(4), 1601-1620, (2023).

2. [2] Sarıkayak, A., Koc, E., Kalkan, M., & Toker, S. M. “Yüzeyinde mikrodeformasyon alanları oluşturulan 316L paslanmaz çeliğin biyomimetik olarak kaplanması”, Politeknik Dergisi, 26(4), 1349-1358, (2023).

3. [3] Momma, C., Knop, U., & Nolte, S. “Laser cutting of slotted tube coronary stents-state-of-the-art and future developments”, Progress in Biomedical Research, 4(1), 39-44, (1999).

4. [4] Subaşı, M., & Karataş, Ç. “Titanyum ve titanyum alaşımlarından yapılan implantlar üzerine inceleme”, Politeknik Dergisi, 15(2), 87-103, (2012).

5. [5] Yıldırım, M. S., & Kaya, Y. “Patlamalı Kaynak Yöntemi Kullanılarak Üretilen Bakır- Titanyum Bimetalik Kompozit Malzemelerin Birleştirme Arayüzeyinin İncelenmesi”, Politeknik Dergisi, 27(1), 47-58, (2024).